Электронная и ионная спектроскопия материалов и структур микро - и оптоэлектроники

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Учеб. пособие. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ". – 2011. – 80 с.
ч/б скан 600 dpi, OCR.
Дается краткий обзор современных аналитических методов элементного и химического анализа поверхностности, а также исследования концентрационных профилей по глубине. Основное внимание уделено физическим основам, принципам построения спектрометров, методическим особенностям проведения измерений и обработки информации методами электронной Ожеспектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и массспектрометрии вторичных ионов.
Предназначено для подготовки бакалавров и магистров, обучающихся по программам «Электроника и микроэлектроника», «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Электроника и наноэлектроника», а также научных работников, специализирующихся в области физики поверхности и границ раздела.
Учебное пособие подготовлено в рамках выполнения проекта по разработке и апробации программы опережающей профессиональной переподготовки и учебно-методического комплекса, ориентированных на инвестиционные проекты по производству солнечных модулей на базе технологии «тонких пленок» Oerlikon, финансируемого Фондом инфраструктурных и образовательных программ.
Оглавление
Введение
Электронная Оже-спектроскопия

Физические основы метода
Количественный анализ
Послойный анализ
Приборная реализация метода ЭОС

Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
Физические основы метода
Поглощение фотона и ионизация внутреннего уровня атома, эффекты начального состояния
Генерация фотоэлектрона и релаксация атома (эффекты конечного состояния)
Выход фотоэлектрона в вакуум (внешние эффекты)
Количественный анализ
Приборная реализация

Вторичная ионная масс-спектрометрия
Ионное распыление
Ионно-ионная эмиссия
Масс-спектрометрия вторичных ионов
Приборная реализация
Методические особенности ВИМС

Список литературы

Author(s): Петров А.А.

Language: Russian
Commentary: 1405530
Tags: Физика;Практикумы, экспериментальная физика и физические методы исследования