Historicamente o crescimento de cristais, com elevado grau de perfeição
cristalográfica envolve mais arte do que ciência, sendo frequentemente o
resultado de um longo e paciente processo de aprendizagem por tentativa e
erro. Isto é certamente verdade em todas as técnicas de crescimento de fitas
de silício, e o presente trabalho não é excepção. Trata-se de uma
demonstração de princípio, abordada pela via experimental, de uma técnica
de cristalização de fitas de silício a partir de matéria-prima por Zona Fundida
Eléctrica Linear. Os seus objectivos eram ambiciosos desde o início, dado
que o desenvolvimento de uma nova técnica de cristalização é um projecto
que demora décadas de investigação contínua e exige enormes recursos
materiais e humanos. Na presente investigação, dado existir apenas um
forno (e um operador!), os progressos possíveis ocorreram sempre de forma
muito mais lenta do que o desejável. O presente relatório, que representa
cerca de 90% do tempo de trabalho do doutoramento, dá agora a conhecer o
presente estado da arte.
Este trabalho começa por enquadrar a técnica desenvolvida no contexto
de outras afins já existentes na indústria, em operação ou desenvolvimento,
que fazem uso de correntes induzidas por campos electromagnéticos para
aquecimento e controlo da estabilidade do fundido, tendo em vista o
incremento da qualidade dos materiais que produzem. Algumas das técnicas
expostas são ou podem vir a ser adaptados com proveito ao presente
processo e constituem instrumentos para a compreensão dos complexos
problemas de estabilidade inerentes às zonas fundidas criadas pela
passagem de elevadas densidades de corrente eléctrica directamente nos
semicondutores. Especial atenção é concedida ao trabalho de outros autores
que me precederam na realização de cristalizações por zona fundida
eléctrica longitudinal (i.e. segundo a direcção de cristalização) ou transversal.
De referir, em particular, o trabalho de W. G. Pfann com zonas eléctricas e
lagos de alimentação de matéria-prima, visto ter sido provavelmente o
primeiro a realiza-las. Também ele sugere diversos métodos de
movimentação da zona para recristalização de cristais.
As características eléctricas e térmicas específicas dos semicondutores
que possibilitam o fenómeno de concentração da corrente, que está na
origem das zonas eléctricas, são evidenciadas no segundo capítulo.
Também aqui se expõem as ideias para, a partir daquelas zonas, cristalizar
fitas de silício usando matéria-prima convencional (granular). Indicam-se
métodos de estabilização e mostram-se exemplos gráficos das zonas
fundidas e dos lagos de alimentação. Descreve-se seguidamente a evolução
histórica da técnica, acompanhando as dificuldades encontradas e os
progressos realizados em várias gerações de fornos. Faz-se referência às
técnicas de recristalização de fitas por zona fundida eléctrica com bordos
suportados por placas de grafite ou silício e apresentam-se resultados da
caracterização dos materiais assim obtidos, nomeadamente da
demonstração de rendimentos até 6,5% em células fotovoltaicas simples.
Evidenciam-se detalhes técnicos dos sistemas associados à realização do
lago, por concentração óptica com uma lâmpada de arco, assim como
características específicas do lago e do sistema de transporte de matéria-
prima até ele.
As zonas fundidas eléctricas põem problemas de controlo importantes,
devido à característica resistência dinâmica (ou diferencial) negativa do
silício com a temperatura. As diversas soluções encontradas neste sentido
são expostas no terceiro capítulo, juntamente com uma análise das
potências dissipadas nos diversos componentes do sistema. O efeito das
dimensões das placas de silício nas funções eléctricas corrente, tensão,
resistência e potência, e a variação da largura da zona com a corrente
aplicada são também estudados em diversas configurações (potências
ópticas). Mostram-se as características V(I) pondo em evidência um curioso
fenómeno de histerese que nelas foi observado. Apresentam-se também os
perfis e os transientes de temperatura típicos nas placas de silício com zonas
eléctricas.
As sérias dificuldades encontradas na técnica no que respeita à
estabilidade do sistema lago-zona e ao transporte de massa para a fita em
crescimento, são objecto de estudo do quarto capítulo. Alguns destes
problemas já são conhecidos de outras técnicas nas quais a zona é originada
pela passagem de corrente eléctrica de forma directa ou induzida no fundido,
assim como num grande número de processos físicos e metalúrgicos. A
complexidade dos mesmos é determinada pelas interacções das forças em
presença nos sistemas, cuja análise requer o acoplamento de 3 ramos da
física: Electrodinâmica, Hidrodinâmica e Termodinâmica. No presente caso a
zona fundida não é mais do que um capilar de fluido condutor em equilíbrio
por forças de gravidade, de tensão superficial e magnetoidrodinâmicas.
Expõem por isso alguns princípios físicos elementares aplicáveis aos
fenómenos em causa e procuram-se explicações (tentativas) para as
instabilidades observadas, em particular de ondulação da zona e dos seus
modos característicos de ruptura, por analogia com fenómenos típicos
observados (noutros contextos) em tubos de fluidos condutores, mostrando
as causas e condições para o seu desenvolvimento. Mostra-se, em especial,
o efeito do pinch electromagnético e dão-se sugestões para a resolução do
problema de transporte de massa.
Author(s): João Henriques
Publisher: Universidade de Lisboa
Year: 2002
Language: Portuguese
Pages: 122
City: Lisbon
Tags: Cristalização, Fitas de Silício, Zona Fundida Linear
Prefácio III
1. Técnicas de Cristalização do Silício
em Campos Electromagnéticos 1
1.1 ElectroMagnetic Casting (EMC) 2
1.2 Magnetic field-applied Czochralski (MCZ) 4
1.3 Electrodifusão de Impurezas 7
1.4 Cristalização por Zona Fundida Eléctrica 7
1.5 Referências 11
2. Zona Fundida Eléctrica Linear 15
2.1 Mecanismo de Geração da Zona 16
2.2 Extracção de Fitas de Silício 20
2.3 Evolução Histórica da Técnica 24
2.3.1 Recristalização por Zona Fundida Eléctrica Linear 29
2.3.2 Lago de Alimentação da Zona 35
2.3.3 Sistema de Transporte de Massa 44
2.4 Referências 46
VIII Índice
3. Características Eléctricas e Distribuição de Temperatura 49
3.1 Potência na Placa e no Sistema 49
3.2 Largura e Espessura das Placas 55
3.3 Dimensões da Zona Fundida 66
3.4 Características Eléctricas 68
3.5 Distribuição de Temperatura 71
3.6 Referências 77
4. Estabilidade da Zona Fundida Eléctrica Linear 78
4.1 Forças magnetoidrodinâmicas (MHD) 79
4.2 Pressão do Pinch Electromagnético 83
4.3 Instabilidades em Fluidos Condutores 85
4.4 Evidência Experimental das Instabilidades 88
4.5 Tensão Superficial na Zona e no Lago 100
4.6 Alimentação da Zona Fundida 102
4.7 Referências 105
5. Conclusão 108
5.1 Cristalização e Recristalização por Zona Fundida Eléctrica Linear 109
5.2 Controlo do Sistema e Distribuição de Temperatura 111
5.3 Estabilidade da Zona Fundida Eléctrica Linear 113
5.4 Referências