Статья. Опубликована в в журнале Электроника: наука, технология, бизнес. – 20071, №
1. – С.76-85.
Статья посвящена принципам работы гироскопических приборов построенных по технологии МЭМС. Дан краткий обзор продукции основных производителей данного класса устройств.
Сфера применения миниатюрных гироскопов уже сегодня чрезвычайно широка – от авионики и автомобильной электроники до цифровых автоматических систем для измерения угловой скорости. Большинство миниатюрных гироскопов представляют собой микроэлектромеханические системы (МЭМС), которые изготавливают по технологиям, близким к СБИС.Содержание:
Принцип действия.
Балочные гироскопы.
Гироскопы-камертоны.
Гироскопы Analog Devices по те хнологии iMEMS.
Гироскопы с диском-вибратором.
Вращательные вибрационные микрогироскопы.
Литература.
