Криогенное и вакуумное машиностроение. ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1990.
Центральный институт научно-технической информации и технико-экономических исследований по химическому и нефтяному машиностроению.
Обзорная информация.
В обзоре рассматриваются новые концепции вакуумирования приборов и установок, основанные на взаимодействии быстрых атомов, ионных и электронных пучков, плазменных потоков и электромагнитного излучения с веществом в различном фазовом состоянии.
Обзор предназначен для специалистов в области криогенной н вакуумной техники.
Обзор составлен по опубликованным отечественным и зарубежным.
материалам и патентам.Содержание.
Внедрение быстрых газовых частиц в конденсированные среды.
Отражение ионов и вторично-эмиссионные процессы.
Ионное распыление приемных пластин.
Имплантационные средства откачки частиц с конденсированными средами.
Литература.
