ГОУ ВПО Иван. гос. хим.-технол. ун-т. Иваново, 2007. - 88 с.
Лабораторный практикум включает описание 6 лабораторных работ по основным разделам лекционного курса, в которых дана в необходимом объеме теоретическая часть, методика выполнения и контрольные вопросы.
Предназначен для студентов, обучающихся по направлениям 210100 Электроника и микроэлектроника и 150600 Материаловедение и технология новых материалов при изучении дисциплины Техника высокого вакуума. Практикум может быть полезен и для студентов других технологических специальностей, а также практических инженеров. 7 табл., 39 ил. Библ.: 9 назв.
Содержание
Введение
Работа 1 - Ознакомление с вакуумными установками, методикой и приемами работ
Работа 2 - Испытание вакуумных насосов
Работа 3 - Техника течеискания
Работа 4 - Электрофизические средства откачки
Работа 5 - Исследование процессов газовыделения из материалов
Работа 6 - Градуировка вакуумметров
Список литературы
Справочный раздел
