Учебное пособие для Вузов. - М.: САЙНС-ПРЕСС, 2006, - 80 с., ил. ISBN 5-94818-001-5.В пособии изложены базовые моменты теории и практики формирования и исследований наноструктурированных материалов. Приведен анализ наноразмерных структур, особенностей их свойств, методов изготовления и возможностей применения в приборных устройствах. Рассмотрены принципиальные возможности применения опаловых матриц для получения наноразмерных структур. Приведена оценка различных технологических методов нанесения металлических и изоляционных слоев на поверхность опаловых матриц. Рассмотрены методы нанесения тонких пленок в вакууме и электрохимического осаждения на поверхность опаловых матриц. Пособие разработано на основе курсов лекций, которые авторы читают в МГТУ им. Н.Э. Баумана на кафедрах «Проектирование и технология производства ЭС» (ИУ4) (http://iu4.bmstu.ru) и МТ11 «Технологии электронного машиностроения». Для студентов, аспирантов и инженеров, специализирующихся в исследованиях наноразмерных структур и методов их изготовления.Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование.
Методы получения наноструктур.
Применение наноструктур для создания элементов приборных устройств.
Исследование существующих наноструктурированных материалов и наноразмерных структур и их особенностей для технологического проектирования элементов наноэлектроники.
Методы получения наноструктурированных материалов и наноразмерных структур.
Исследование наноструктур с помощью сканирующей зондовой микроскопии.
Сканирующая зондовая микроскопия - лабораторный практикум.
Список использованных источников.
