Учебное пособие. СПб.:Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2012. 172 с. ISBN 978-5-7629-1243-3Авторы: О.А. Александрова, П.А. Алексеев, И.Е. Кононова, А.И. Максимов, Е.В. Мараева, В.А. Мошников, Е.Н. Муратова, С.С. Налимова, Н.В. Пермяков, Ю.М. Спивак, А.Н. ТитковСодержит систематизированные и оформленные в виде лабораторных работ оригинальные методики сканирующей зондовой микроскопии, разработанные на кафедре микро- и наноэлектроники СПбГЭТУ «ЛЭТИ» и в лаборатории оптики поверхности ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН.
Предназначено магистрантам направления 210100.68 «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа 210161.68 «Нанотехнология и диагностика» (при изучении дисциплин: «Материаловедение микро- и наносистем», «Наноматериалы», «Зондовые и пучковые нанотехнологии», «Технология пористых материалов», «Нанотехнологии в альтернативной энергетике»), а также студентам бакалавриата направления 210100.62
«Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Рецензенты: кафедра микро- и наноэлектроники Пензенско
Содержание:
Принципы сканирующей зондовой микроскопии и основные блоки СЗ-микроскопов
Физические основы сканирующей туннельной микроскопии
Физические основы атомной силовой микроскопии
Моды сканирующей зондовой микроскопии
Типы зондов и методы их изготовления
Геометрия и физические свойства кантилеверов
Специальные кантилеверы
Исследование полупроводников методами СЗМ
Сканирующая туннельная спектроскопия энергетического спектра полупроводников
Регистрация силовых взаимодействий, обусловленных ∂С/∂Z
Кельвин-мода
Бесконтактная емкостная мода ССМ в тестировании и метрологии элементов микро- и наноэлектроники
Методы модификации поверхности (нанолитография) с помощью СЗМ
Силовая литография (plowing lithography)
Локальное оксидирование
Перьевая нанолитография (dip-pen nanolithography)
Другие виды СЗМ-литографии
Молекулярное и атомарное манипулирование
Методики исследования наноматериалов с применением АС-микроскопа
Исследование поверхности материалов в контактном и полуконтактном режимах
Исследование свойств поверхностей полимеров с помощью силовой спектроскопии
Исследование морфологии пористого оксида алюминия при вариации технологических условий получения
Цифровая обработка АСМ-изображений пористого оксида алюминия
Изучение локальных свойств пленочных наноструктурированных материалов с помощью двухпроходных методик электросиловой микроскопии
Исследование фоточувствительных наноструктурированных слоев на основе PbSe методом отображения сопротивления растекания и спектроскопии тока
Определение модуля Юнга нанопроводов из арсенида галлия
Локальное анодное оксидирование поверхности кристаллов Si под зондом атомно-силового микроскопа
Исследование особенностей физико-химических процессов на поверхности посредством методики островковых контактов
Перспективы развития методов СЗМ
