Author(s): Бериш Р. (ред.)(Behrisch)
Publisher: Мир
Year: 1984
Language: Russian
Pages: 336
Tags: Физика;Физика твердого тела;
Обложка......Page 1
Титульный лист оригинального издания......Page 2
Титульный лист......Page 3
Аннотация и выходные данные......Page 4
Предисловие редактора перевода......Page 5
Предисловие......Page 10
§ 1. Общий обзор......Page 12
§ 2. Коэффициент распыления......Page 14
§ 3. Распределения распыленных частиц......Page 16
§ 4. Физика распыления......Page 17
§ 5. Расчеты процесса распыления......Page 19
§ 6. Применение распыления......Page 20
§ 1. Введение и история вопроса......Page 23
§ 2. Сведения из теории атомных столкновений......Page 34
§ 3. Распыление за счет линейных каскадов столкновений......Page 49
§ 4. Режим первичного прямого выбивания и режим тепловых пиков......Page 74
§ 5. Другие вопросы......Page 82
Приложение. Связь между прямым и обратным уравнениями Больцмана......Page 91
ГЛАВА 3. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ВОПРОСЫ РАСПЫЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ. М. Робинсон......Page 99
§ 1. Исторический обзор......Page 100
§ 2. Кристаллография н термодинамика поверхности......Page 103
§ 3. Коэффициенты распыления монокристаллов......Page 112
§ 4. Угловое распределение атомов, вылетающих из монокристаллов при распылении......Page 129
§ 5. Моделирование распыления монокристаллов на ЭВМ......Page 152
§ 6. Заключение и выводы......Page 183
§ 1. Экспериментальные условия и методы......Page 194
§ 2. Коэффициенты распыления поликристаллических и аморфных материалов......Page 218
§ 1. Первые наблюдения монокристаллических эффектов в распылении......Page 281
§ 2. Экспериментальные методы......Page 285
§ 3. Энергетическая зависимость коэффициента распыления при нормальном падении ионов на низкоиндексные кристаллографические плоскости......Page 286
§ 4. Угловая зависимость коэффициента распыления......Page 297
§ 5. Температурная зависимость коэффициента распыления монокристаллов......Page 306
§ 6. Тонкая структура угловой зависимости коэффициента распыления и ее связь со строением поверхности......Page 315
§ 7. Выводы......Page 319
ДОПОЛНИТЕЛЬНАЯ ЛИТЕРАТУРА (с названиями статей)......Page 324
СПИСОК ОБОЗНАЧЕНИЙ......Page 329
ПРЕДМЕТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ......Page 332
Оглавление......Page 336
