Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE т. 5, №1-2, 2007 с. 4 -
27. Библ. -131 наим.
В обзоре рассмотрены закономерности формирования строения, структуры нанокристаллических, нанокомпозитных покрытий, полученных ионно-плазменными методами осаждения. Обсуждаются особенности влияния технологических параметров осаждения на микроструктуру, механические и физические свойства нанокристаллических, нанокомпозитных покрытий. Кратко представлены механизмы, обьясняющие особенности строения и некоторые свойства нанокристалических, нанокомпозитных покрытий. Рассмотрены области применения нанокристаллических покрытий.
