product iamge

Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Download
Search on Amazon

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Статья. Опубликована в ВАНТ, 2014, №2(90), С. 137-142
Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей (ГС), предназначенных для получения покрытий сложного состава в ионно-плазменных установках. Разработаны методы получения смесей газов, основанные на последовательной подаче порций газовых компонентов в смесительную камеру и обеспечивающие заданный состав смеси с высокой точностью. Для реализации методов разработаны алгоритмы и на их основе микропроцессорная система управления созданного генератора газовых смесей. Разработанный генератор обеспечивает подготовку смесей из трех газов с возможностью изменения процентного содержания каждого газа в диапазоне 0…100% с шагом задания содержания компонента 1% и погрешностью не более 0,1% по каждому газу.

Author(s): Сысоев Ю.А.

Language: Russian
Commentary: 1757320
Tags: Металлургия и обработка металлов;Нанесение покрытий