М.: Машиностроение, 1986. — 76 с. OCRВ лекции рассмотрены задачи анализа состава остаточных газов в высоковакуумных системах и приборах, классификация, принцип действия и основные технические характеристики этих систем и приборов. Даны классификация методов анализа поверхности твердого тела, сравнительные их характеристики. Брошюра предназначена для слушателей курсов повышения квалификации ИТР по вакуумному аппарато- и приборостроению.
Ил. 26, библ. 30 назв.Выпушено по заказу Заочного института повышения квалификации ИТР Центрального уравпения НТО приборостроительной промышленности им. академика С.И. Вавилова
