Курс лекций. - Москва, МИСиС, 2008. - 191 с.В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра - Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярно-пучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма.
Приводятся примеры создания микро- и наноразмерных приборов микросистемной техники с использованием ионных процессов.
Содержание курса лекций соответствует программе.
Предназначен для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы».1 Принципы построения наноразмерных гетероструктур
Введение в индустрию наносистем
Принципы организации и функционирования наноструктур
Эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах
Контрольные вопросы2 Молекулярно-пучковая технология создания полупроводниковых наноструктур
Физико-химические принципы молекулярно-пучковой эпитаксии
Технология молекулярно-пучковой эпитаксии
Кинетика и термодинамика в описании процесса роста при молекулярно-пучковой эпитаксии
Контрольные вопросы3 Синтез сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов
Вероятностно-статистический подход к синтезу материалов
Неравновесный термодинамический подход
Экспериментальные результаты по синтезу алмазоподобных материалов
Структурно-ориентационный изоморфизм в алмазоподобных материалах
Контрольные вопросы4 Получение пленочных материалов с использованием химических соединений
Основы метода Ленгмюра – Блоджетт
Технология получения наноразмерных пленок методом Ленгмюра – Блоджетт
Основы плазмохимической технологии получения пленок гидрогенизированного кремния
Свойства пленок и пленочных гетероструктур на основе аморфного гидрогенизированного кремния
Деградация параметров пленочных структур на основе аморфного кремния и пути ее уменьшения
Физико-химические основы эпитаксии из металлоорганических соединений (МОС)
МОС-гидридная технология получения пленочных гетерокомпозиций
Контрольные вопросы5 Микро- и нанотехнологии получения и травления многокомпонентных пленочных гетерокомпозиций
Формирование пленок нитридов ионно-лучевым распылением
Получение пленок карбида кремния и его твердых растворов
Ионно-плазменное травление нитридов элементов третьей группы
Наноразмерное ионно-лучевое травление остросфокусированным ионным пучком
Электронно-эмиссионный контроль процесса ионно-лучевого травления
Изготовление микрообъектов
Контрольные вопросы6 Наносистемы и приборы на их основе
Полупроводниковые лазеры с квантовыми точками
Микро- и наноразмерные мембраны для приборов микросистемной техники
Получение сенсорных устройств на основе оксидов
Контрольные вопросы
