Лапидус И.И., Коган Б.А., Перепелкин В.В. и др.Пособие для рабочих. — М.: Металлургия, 1971. — 144 с.: ил — (Библиотека рабочего цветной металлургии).Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов. Описаны процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами. Рассмотрена техника безопасности в кремниевом производстве.
Книга предназначена для рабочих полупроводникового производства. Может быть полезна студентам высших учебных заведений в отрасли получения полупроводниковых материалов.Предисловие.
Введение.
Основные свойства хлоридов кремния
Физические и термохимические характеристики.
Системы, образуемые хлоридами кремния с некоторыми неорганическими и органическими примесями.
Химические свойства.
Синтез хлоридов кремния
Синтез тетрахлорсилана.
Аппаратурно-технологическое оформление процесса синтеза тетрахлорсилана.
Синтез трнхлорсилана.
Аппаратурно-технологическая схема получения трихлорсилана.
Очистка хлоридов кремния
Литературный обзор методов очистки.
Метод ректификации.
Некоторые вопросы термодинамики и кинетики водородного восстановления хлоридов кремния
Получение и очистка водорода
Получение водорода электролизом воды.
Сушка водорода.
Каталитическая очистка водорода.
Тонкая очистка водорода от примесей.
Адсорбционная сушка водорода синтетическими цеолитами.
Новые методы получения водорода высокой чистоты.
Установки водородного восстановления хлоридов кремния (литературный обзор)
Некоторые сведения по контролю и автоматизации процесса восстановления
Автоматический контроль и регулирование расходов водорода и хлорида.
Автоматический контроль и регулирование температуры стержней.
Автоматизация участка водородного восстановления кремния.
Основные меры безопасного ведения работ
Приложение
Литература
