Москва, НИФХИ им. Л. Я. Карпова, 1975. - 40 с. Сборник научных трудов. В сборнике представлены обзорная информация и результаты ряда экспериментальных исследований в области образования полимерных пленок из паров органических соединений в плазме тлеющего разряда. В обзорной статье рассмотрены литературные данные по вопросу влияния строения исходного вещества на кинетику образования и свойства пленок, получаемых полимеризацией в разряде, а также изложены аспекты развития исследований в этой области.
В экспериментальных работах рассмотрен ряд вопросов кинетики образования пленок из фтористых, кремний- и германийорганических соединений и парафиновых углеводородов, состава и свойства пленок, результаты исследования пленок методом ЭПР. В сборник включена статья по вопросам совместной полимеризации двух веществ под действием тлеющего разряда.
Публикуемые материалы представляют интерес для работников, занимающихся изучением и применением плазменных методов получения тонких пленок.
