М.: Машиностроение, 1986. - 56 с. OCRВ работе изложены вопросы применения вакуумно-термического оборудования, которое широко используется при изготовлении практически всех изделий электронной техники, начиная с осветительных ламп накаливания и кончая самыми современными интегральными схемами; приведены основные сведения по взаимодействию газов с твердыми телами, описано перспективное оборудование дпя термической очистки и обезгаживания материалов, для откачки и обезгаживания электровакуумных приборов,а также рассмотрены вопросы контроля рабочих сред, качества очистки и обезгаживания материалов, контроля процессов откачки.
Табл. 4, ил. 24, библ. 11 назв.Выпушено по заказу Заочного института повышения квалификации ИТР Центрального уравпения НТО приборостроительной промышленности им. академика С.И. Вавилова
