Тамбов: ТГТУ, 2014. — 219 с.В учебном пособии широко охвачены различные аспекты микромехатроники и микросистемной техники. В книге детально рассмотрены такие вопросы, как история и перспективы развития микросистемной техники, структура и технологии изготовления микроэлектромеханических систем, а также различные сферы их применения.
Книга предназначена для освоения дисциплины «Микромехатроника» студентами магистратуры, обучающимися по направлению 15.03.06 «Мехатроника и робототехника», а также может быть полезна аспирантам, инженерно-техническим и научным работникам соответствующих и близких специальностей.
