Монография. М.,: Наука, 1981. — 144 с. Ил. 73, Табл. 6, Библиогр. 230 назв.В книге рассмотрены общие принципы диагностики неравновесной низкотемпературной химически активной плазмы с помощью методов контактной диагностики. Описаны электрические зонды, работающие в режиме концентрации, средней энергии, и функции распределения электронов по энергиям. Исследована роль электроной компоненты плазмы в плазмохимии. Рассмотрено применение зондов для исследования кинетики роста полимерных пленок в условиях низкотемпературной плазмы.
Книга рассчитана на физиков и физико-химиков, работающих в области низкотемпературной плазмы и плазмохимии.
