М.: Высш. школа, 1977. — 256 с.: ил.В книге рассмотрены: технология полупроводниковых интегральных микросхем (диффузии. эпитаксия, пассивация, межсоединения, фотолитография); технология гибридных пленочных микросхем (физические основы и техника термического вакуумного напыления, активные и пассивные тонкопленочные элементы, методы контроля тонкопленочных элементов в процессе напыления, распыление ионной бомбардировкой, технологические особенности толстопленочных микросхем); сборка микросхем (монтажно-сборочные операции, крепление подложек и кристаллов, герметизация).
Учеб. пособие специальностей «Электронные вычислительные машины» и «Конструирование и производство электронно-вычислительной аппаратуры».
Рецензенты:
Кафедра КИП ЭВА Ленинградского института точной механики и оптики (зав. кафедрой доц. Новиков В.В. )
Зав. кафедрой «Микроэлектроника» Московского института электронного машиностроения проф. Яншин А.А.Технология полупроводниковых интегральных микросхем.
Технология гибридных пленочных микросхем.
Сборка микросхем.
