product iamge

Физические основы микросистемной техники

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Download
Search on Amazon

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Учебное пособие. — Таганрог: ТРТУ, 2004. — 54 с.
В учебном пособии рассмотрено использование электрического поля в компонентах микросистемной техники (МСТ). Первый раздел пособия содержит краткое изложение традиционных сведений об основных закономерностях электрического поля. Во втором разделе излагаются вопросы механики, описывающие поведения компонентов МСТ, находящихся в силовом поле под нагрузкой. В третьем разделе описаны принципы создания актюаторных компонентов, использующих электрическое поле. В последнем разделе излагаются основы использования электрической емкости для съема информации с микросистемных сенсоров, т. е. вопросы создания датчиков перемещения.

Author(s): Механцев Е.Б., Лысенко И.Е.

Language: Russian
Commentary: 48705
Tags: Приборостроение;Микро- и наносистемная техника