Учебное пособие. Л.:ЛЭТИ 1986. 48с.Пособие предназначено для студентов, обучающихся по специальности "Диэлектрики и полупроводники" и "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы", при изучении курса физической химии и кристаллохимии полупроводников. В учебном пособии излагаются основные вопросы рентгеноспектрального микроанализа - одного из наиболее перспективных методов изучения физико-химических процессов, протекающих в микрообъемах. При этом кратко рассмотрены физические основы метода и эффекты возникновения и поглощения характеристического рентгеновского излучения при взаимодействии потока электронов с анализируемым материалом. Значительное место уделено методам расчета химического состава и локальной области по экспериментальным значениям интенсивности рентгеновского излучения.
Пособие может быть полезно инженерам и аспирантам, работающим в области полупроводникового материаловедения.
