Author(s): Лапшин Р.В.
Year: 2002
Language: Russian
Pages: 108
Tags: Специальные дисциплины;Наноматериалы и нанотехнологии;Методы исследования наноматериалов;Авторефераты и диссертации
ТИТУЛЬНЫЙ ЛИСТ......Page 1
СОДЕРЖАНИЕ......Page 3
Актуальность работы......Page 5
Цель работы......Page 6
Научная новизна......Page 7
Положения и результаты, выносимые на защиту......Page 8
Глава 1......Page 9
Глава 3......Page 11
Заключение......Page 12
1.1. Сравнительный анализ систем и методов точного позиционирования......Page 13
1.2. Ключевая идея метода......Page 16
1.3. Базовые понятия и определения......Page 17
1.4. Способы распознавания. Итеративное распознавание особенностей......Page 18
1.5. Алгоритм сканирования: принцип работы и основные процедуры......Page 23
1.5.1. Процедура привязки зонда к атому поверхности......Page 25
1.5.2. Процедура сканирования апертуры и распознавания ближайших соседей......Page 26
1.5.3. Локальное связывание: процедура определения следующего атома цепочки......Page 28
1.5.4. Скиппинг: процедура измерения разностей и сегментов......Page 32
1.6. Распределённая калибровка сканера микроскопа......Page 36
1.7. Визуализация результатов: стилизёр и сборщик поверхности......Page 42
1.8. Специфика сканирования разупорядоченной поверхности. Прямое распознавание особенностей......Page 43
2.1. Перемещение зонда по сетке особенностей в поле точного манипулятора. Маршрутизатор......Page 52
2.2. Перемещение зонда в поле грубого манипулятора......Page 53
2.2.1. Связанное движение точного и грубого манипуляторов......Page 55
2.2.2. Возможные погрешности и способы их устранения......Page 58
2.3. Автоматический возврат зонда микроскопа в операционную зону......Page 59
2.4. Автоматическое определение взаимного положения зондов в многозондовых микроскопах......Page 60
Глава 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ......Page 62
3.1. Объектно-ориентированное сканирование атомного рельефа поверхности графита......Page 64
3.2. Объектно-ориентированное сканирование атомного рельефа поверхности графита с высоким разрешением......Page 65
3.3. Высокоточные измерения постоянных решётки и кристаллографических направлений на поверхности графита......Page 66
3.4. Оперативное позиционирование на атомной поверхности графита. Оценка нелинейности сканера......Page 67
3.5. Точно локализованная туннельная спектроскопия с малым уровнем шума......Page 68
3.6. Определение дрейфа микроскопа......Page 69
3.7. Объектно-ориентированное сканирование разупорядоченных поверхностей электрохимически полированного алюминия и осаждённой из плазмы плёнки углерода......Page 70
3.8. Оценка накопленной погрешности......Page 79
ЗАКЛЮЧЕНИЕ......Page 82
ЛИТЕРАТУРА......Page 91
Акт внедрения......Page 103
Акт внедрения......Page 104
Акт внедрения......Page 105
Патент РФ на изобретение № 2175761......Page 106
Патент РФ на изобретение № 2181212......Page 107
Патент РФ на изобретение № 2181218......Page 108
