Ярославль: Яросл. гос. ун-т., 2002. - 132 с.
Учебное пособие является введением в физику и технологию микроэлектроники с субмикронными размерами. Наиболее подробно рассмотрены вопросы, связанные с физическими ограничениями, возникающими при увеличении степени интеграции. Рассмотрены также вопросы физики систем пониженной размерности и приборов наноэлектроники. Коротко затронуты вопросы, связанные с современной технологией производства микросхем с субмикронными размерами.
Предназначено для студентов старших курсов университетов,специализирующихся в области физики полупроводников и полупроводниковыхприборов, микро - и наноэлектроники. Для усвоения материала необходимо знание общей и теоретической физики в объеме университетского курса, а также физики полупроводников и основ технологии микроэлектроники.
