Нанесение пленок в вакууме

В. Е. Минайчев Нанесение пленок в вакууме......Page 1
Введение......Page 3
1.1. Основные сведения......Page 5
1.2. Нанесение пленок в вакууме......Page 12
1.3. Вакуум в тонкопленочной технологии......Page 16
1.4. Влияние вакуума на процесс нанесения пленок......Page 20
Контрольные вопросы......Page 22
2. Нанесение пленок методом термического испарения......Page 27
2.2. Испарители с резистивным нагревом......Page 28
2.3. Испарители с электронно-лучевым нагревом......Page 31
Контрольные вопросы......Page 38
3.1. Основные сведения......Page 41
3.3. Магнитронные системы ионного распыления......Page 45
3.4. Высокочастотный и реактивный методы ионного распыления......Page 47
Контрольные вопросы......Page 51
4.3. Измерение электрического сопротивления пленок......Page 54
4.4. Измерение адгезии пленок......Page 56
4.5. Измерение скорости нанесения пленок......Page 57
Контрольные вопросы......Page 58
5.2. Механические форвакуумные и двухроторные насосы......Page 60
5.3. Диффузионные паромасляные насосы......Page 62
5.4. Криогенные насосы......Page 66
5.5. Турбомолекулярные насосы......Page 69
5.6. Измерение вакуума......Page 71
5.7. Контроль состава остаточной атмосферы......Page 72
5.8. Откачные вакуумные системы......Page 76
Контрольные вопросы......Page 78
6.2. Вакуумные установки периодического действия......Page 81
6.3. Вакуумные установки полунепрерывного действия......Page 83
6.4. Вакуумные установки непрерывного действия......Page 88
6.5. Микропроцессорное управление установками нанесения тонких пленок......Page 93
Контрольные вопросы......Page 95
7. Электронно-вакуумная гигиена и техника безопасности......Page 99
7.2. Техника безопасности......Page 100
Контрольные вопросы......Page 103
Литература......Page 107
Оглавление......Page 108
www.vacuum.ru......Page