Учеб. пособие /ГЭТУ. - С.-Пб., 1995. - 48 с.Изложены конструктивно-технологические особенности элементов в МДП ИМС и в ИМС на биполярных транзисторах. Рассмотрены особенности конструкции и технологии базовых инверторов МДП ИМС.
Приведены примеры расчета технологических процессов для обеспечения заданных конструктивно-технологических параметров элементов ИМС. Проведен учет двухмерных эффектов при введении примесей через окно в маске.
Предназначено для студентов специальностей 200100 и 200200.
