Монография. — Пер. с англ. — М.: Мир, 1986. — 352 с.: ил.В книге авторов из Великобритании рассматривается электронно-зондовый метод количественного анализа материала поверхности твердого тела по спектральному составу и интенсивности индуцированного излучения. Содержится глубокий анализ физических принципов метода, рассматривается взаимодействие электронов с твердым телом. Особое внимание уделено вопросу перехода от измеренных интенсивностей излучения к концентрациям элементов в пробе.Изложены методы расчета поправок на атомный номер, поглощение и флюоресценцию.Предисловие переводчика.
Предисловие.
Развитие электронно-зондового микроанализа. Т. Малви
Обратнорассеянные электроны, рентгеновские лучи и электронно-зондовый анализатор.
Развитие количественных методов электронно-зондового микроанализа.
Физические основы количественного анализа. В.Д. Скотт
Электронные взаимодействия в твердом теле.
Рентгеновские эмиссионные спектры.
Распределение генерируемого рентгеновского излучения по глубине.
Поглощение рентгеновского излучения.
Интенсивность рентгеновского излучения на выходе из мишени.
Рентгеновская флуоресценция.
Метод ZAF-коррекции, или матричный подход к количественному анализу.
Пространственное распределение рентгеновского излучения.
Рентгеновские спектрометры с волновой дисперсией. В.Д. Скот
Геометрия спектрометров с кристаллами.
Кристаллы-анализаторы.
Детекторы рентгеновского излучения.
Особенности работы газового пропорционального счетчика.
Электронные схемы регистрации импульсов.
Мертвое время регистрирующей системы.
Рентгеновские спектрометры с энергетической дисперсией. С. Рид
Литий-дрейфовые кремниевые детекторы.
Конструкция Si (Li)-детектора.
Предусилитель на основе полевого транзистора.
Основной усилитель.
Энергетическое разрешение .
Функция отклика детектора.
Эффективность детектора.
Наложение импульсов.
Мертвое время.
Схема обработки импульсов, используемых в Харуэлле.
Многоканальный амплитудный анализатор.
Обработка спектров энергетической дисперсии. С. Рид
Идентификация пиков.
Артефакты в спектрах.
Методы вычитания фона.
Интегрирование пиков и поправки, связанные с их перекрыванием.
Применение метода наименьших квадратов.
Точность и пределы обнаружения.
Анализ легких элементов.
Экспериментальное определение интенсивностей рентгеновских лучей. М. Дж. Кокс
Подготовка образцов.
Выбор эталонов.
Особенности работы микрозондовых приборов.
Статистика счета.
Способы оценки абсорбционной поправки.
Требования к абсорбционной поправке.
Упрощенный метод Филибера.
Методы, основанные на строгой модели Филибера.
Методы, основанные на аппроксимации кривых q (pz).
Заключительные замечания.
Практические методы расчета поправок. Г. Лав
Итерационные методы.
Применение ЭВМ.
Альфа-коэффициенты.
Безэталонный анализ.
Метод измерения отношений (пик линии)/фон.
Метод Монте-Карло. М. Дж. Кокс
Моделирование траекторий электронов.
Упругое рассеяние.
Неупругое рассеяние.
Генерация случайных чисел.
Обсуждение моделей Монте-Карло.
Применения метода.
Покрытия, тонкие пленки и частицы. В.Д. Скотт
Тонкие покрытия на подложках.
Тонкие пленки без подложки.
Анализ частиц.
Литература
Предметный указатель
