Учеб. пособие. / Ф. Ф. Колпаков, Н. Г. Борзяк, В. И. Кортунов. - Харь-ков: Нац. аэрокосм. ун-т "Харьк. авиац. ин-т", 2006. - 82 с.
Представлен систематизированный аналитический обзор основных современных зарубежных публикаций по тематике разработки и использования микроэлектромеханических устройств. Приведен обширный перечень базовых работ, а также изложен оригинальный
материал по результатам научно-исследовательских работ, проведенных в «ХАИ».
Для студентов и специалистов электронных и радиотехнических специальностей.
