В данной работе излагаются сведения, необходимые для проведения статического, модального, гармонического и теплового анализов микромеханических элементов микросистемной техники, моделирования
течения жидкости в капиллярах микролабораторий-на-кристалле с помощью программы ANSYS/ED ver
.5.6. Описаны маршруты создания геометрических моделей элементов микросистем методом «снизу-вверх» и
«сверху-вниз». Показаны способы создания конечно-элементных моделей, наложения граничных условий, параметров решения и просмотра результатов расчетов с помощью постпроцессоров General Postpro и Time-Hist Postpro.
