Физические проблемы катодного распыления

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Обзор. ИАЭ им. И. В. Курчатова.1979. 90с.
В обзорной лекции, прочитанной в Национальной школе Болгарии "Вакуумные, электронные и ионные технологии" для молодых научных работников и специалистов в г. Приморско 16 мая 1 9 7 6 г., показано значение процесса распыления веществ атомными частицами в науке, технике, технологии и природе. Названы основные фундаментальные проблемы физики катодного распыления. Рассмотрены проблема первой стенки термоядерного реактора токамака и проблема экспериментального и теоретического изучения закономерностей изменения величины коэффициента распыления от наиболее важных параметров процесса распыления. Указаны направления и вопросы первоочередных исследований распыления веществ нонами.
© Институт атомной энергии им. И. Э. Курчатова.

Author(s): Плешивцев Н.В.

Language: Russian
Commentary: 500653
Tags: Физика;Физика плазмы