Таиров Ю.М., Шилова О.А.Монография. - СПб.: Техномедиа, Элмор, 2007. - 255 с.Рассмотрены особенности золь-гель-технологии нанокомпозитов, свойства получаемых материалов и методы их исследования, а также со-временное состояние золь-гель-технологии и применение ее для формирования материалов и приборов электронной техники. Приведены элементы теории фракталов, модели роста и методы анализа фрактальных агрегатов. Отражена специфика формирования материалов и их применения в микро- и наноэлектронике.
Монография предназначена специалистам работающим в областях твердотельной электроники, микро- и наноэлектроники, микро- и наноси-стемной техники, тонкопленочной сенсорики, а также может быть полезна аспирантам и студентам, обучающимся по направлениям 210100 "Электроника и микроэлектроника" и 210600 "Нанотехнология".
