Томск: ТУСУР, 2004. - 260 с. - ISBN 5-86889-244-5В монографии рассмотрены технологические основы производства интегральных микросхем (ИМС), в том числе сверхбольших ИМС, отражены вопросы формирования наноструктур и технологии их формирования. Большинство разделов учебного пособия содержит математические модели для инженерных расчётов.
Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Математическое моделирование технологических процессов в микроэлектронике».
Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технологические процессы микроэлектроники», «Нанотехнологии в электронике», а также при выполнении курсовых и дипломных работ.
