Минск, Наука и техника, 1981.- 214 с.В книге обобщены и систематизированы результаты исследований тонких пленок полупроводников с целью создания на их основе и с применением методов интегральной технологии нового поколения миниатюрных твердотельных измерительных преобразователей (ИП). Книга такой направленности издастся впервые. Она дополнит серию недавно изданных монографий, в которых рассмотрена роль полупроводниковых пленок в современной технике, в частности микроэлектронике. В ней рассмотрены физические основы преобразования полупроводниковыми приборами энергии внешних воздействий в электрические сигналы, получение, свойства пленок полупроводников, перспективных для изготовления ИП, в частности АIIIBV, формирование приборных микроструктур, различные виды и типы миниатюрных дискретных и интегральных ИП, а также некоторые частные случаи их применения.
Книга рассчитана на специалистов, занимающихся разработкой и применением твердотельных ИП. Она может быть также полезна студентам и аспирантам, специализирующимся в области твердотельной электроники, контрольно-измерительной техники, автоматики.Содержание
Физические основы преобразования полупроводниковыми приборами энергии внешних воздействий в энергию электрического сигнала
Получение пленок полупроводников, перспективных для изготовления измерительных преобразователей, и их свойства
Формирование миниатюрных элементов измерительных преобразователей из пленок полупроводников с применением методов интегральной технологии
Полупроводниковые пленочные миниатюрные измерительные преобразователи
Применение миниатюрных полупроводниковых ип в составе различных технических устройств
