Технологические процессы в микроэлектронике

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

В пособии описываются технологические процессы получения и очистки кристаллов полупроводников, методы получения окисных слоев кремния. Включено также описание лабораторных работ «Кристаллизационные методы очистки полупроводников» и «Анодное окисление кремния». Учебное пособие составлено на основании Государственного образовательного стандарта высшего профессионального образования.

Author(s): Каменская А.В., Дикарева Р.П.
Publisher: НГТУ
Year: 2005

Language: Russian
Tags: Приборостроение;Электроника;