Author(s): Бериш Р. (ред.)(Behrisch)
Publisher: Мир
Year: 1986
Language: Russian
Pages: 485
Tags: Физика;Физика твердого тела;
Обложка......Page 1
Титульный лист оригинального издания......Page 2
Титульный лист......Page 3
Аннотация и выходные данные......Page 4
Предисловие редактора перевода......Page 5
Предисловие......Page 9
§ 1. Общие сведения......Page 11
§ 2. Коэффициенты распыления......Page 13
§ 3. Данные о распылении однокомпонентных твердых тел......Page 14
§ 4. Теоретические модели распыления......Page 15
§ 5. Распыление многокомпонентных мишеней......Page 17
§ 6. Распыление неметаллов......Page 18
§ 8. Рельеф поверхности......Page 19
§ 9. Заключение......Page 20
Литература......Page 21
ГЛАВА 2. РАСПЫЛЕНИЕ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ МАТЕРИАЛОВ. Г. Бетц, Г. Венер......Page 24
§ 1. Исторический обзор и необходимость в данных о распылении......Page 25
§ 2. Основные понятия......Page 30
§ 3. Однофазные сплавы и соединения, не содержащие компонентов с высоким давлением паров......Page 36
§ 4. Окислы и другие соединения, имеющие компонент с высоким давлением паров......Page 74
§ 5. Многофазные материалы......Page 89
§ 6. Заключение......Page 95
§ 7. Таблицы......Page 98
Литература......Page 125
ГЛАВА 3. ХИМИЧЕСКОЕ РАСПЫЛЕНИЕ. И. Рот......Page 134
§ 1. Понятие химического распыления......Page 135
§ 2. Экспериментальные методы......Page 141
§ 3. Захват имплантированных ионов и образование соединений......Page 149
§ 4. Химически усиленное и химически ослабленное физическое распыление......Page 156
§ 5. Химическое распыление......Page 165
Литература......Page 198
§ 1. Механизмы распыления ионами и электронами......Page 205
§ 2. Образование дефектов в диэлектриках и распыление диэлектриков......Page 210
§ 3. Дефекты в галогенидах щелочных металлов......Page 213
§ 4. Распыление галогенидов щелочных металлов......Page 221
§ 5. Образование рельефа на поверхности......Page 231
§ 6. Галогениды серебра......Page 232
§ 7. Эрозия поверхности, вызываемая фотонами......Page 235
§ 8. Околопороговые процессы в случае релятивистских электронов......Page 239
§ 9. Заключение......Page 242
Литература......Page 243
§ 1. Изменения, вызываемые нейтронным облучением......Page 246
§ 2. Эксперименты по распылению нейтронами......Page 250
§ 3. Теория......Page 277
§ 4. Заключение......Page 301
Литература......Page 303
§ 1. Исторический обзор......Page 310
§ 2. Экспериментальные условия......Page 314
§ 3. Образование дефектов и стадии развития рельефа на поверхности......Page 318
§ 4. Рельеф атомного масштаба ($\leq 100$ \r{A})......Page 322
§ 5. Рельеф микроскопического масштаба (100—10000 \r{A})......Page 324
§ 6. Рельеф макроскопического масштаба (> 10 000 \r{A}) и теория его формирования......Page 343
§ 7. Выводы......Page 354
Литература......Page 355
ГЛАВА 7. РАЗВИТИЕ РЕЛЬЕФА НА ПОВЕРХНОСТИ ВСЛЕДСТВИЕ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ ГАЗОВ. Б. Шерцер......Page 360
§ 1. Общий очерк......Page 361
§ 2. Исторический обзор......Page 367
§ 3. Имплантация ионов газов в твердые тела......Page 370
§ 4. Захват газа при очень малых флуенсах ($ltsim 10^{17}$ м$^{-2}$)......Page 378
§ 5. Захват и структурные модификации при промежуточных флуенсах ($10^{17}—10^{21}$ м$^{-2}$)......Page 383
§ 6. Высокие флуенсы ($10^{21}—10^{23}$ м$^{-2}$), блистеринг и отслаивание чешуек (отшелушивание)......Page 397
§ 7. Модели блистеринга и отслаивания чешуек......Page 435
§ 8. Очень высокие ионные флуенсы ($>10^{23}$ м$^{-2}$)......Page 449
Литература......Page 454
ДОПОЛНИТЕЛЬНАЯ ЛИТЕРАТУРА (с названиями статей)......Page 470
ДОПОЛНЕНИЕ. НЕКОТОРЫЕ ЧАСТО УПОТРЕБЛЯЕМЫЕ АНГЛОЯЗЫЧНЫЕ ТЕРМИНЫ И ИХ РУССКИЕ ЭКВИВАЛЕНТЫ......Page 473
Предметный указатель......Page 477
Оглавление......Page 483
Выходные данные......Page 485
