Научно-исследовательская работа. Автор не указан. Сумы, 2012, 32с.Цель работы и задачи исследования. Цель научной работы состоит в определении структуры и свойств нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Tі, Sі и N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения с применением импульсного ВЧ потенциала смещения.
Научная новизна полученных результатов.
Установлено, что повышение импульсного ВЧ потенциала смещения от - 100 В до -200 В приводит к формированию текстуры (111) в плоскости осаждения покрытий.
Впервые показано, что наиболее высокая текстурированность покрытия наблюдается на пучках без сепарации при U = -200 В и давлении азота P = 0,3 Па.
Практическое значение полученных результатов.
Состоит в разработке физических основ управляемого изменения напряженного состояния материала покрытия в процессе его формирования. Изменяя параметры ВЧ-разряда, мы можем получать сверхтвердые материалы с новой структурой и свойствами. Практическая ценность научной работы состоит также в том, что полученные результаты являются научной основой для выбора оптимальных режимов осаждения покрытий с необходимым составом, структурой, напряженным состоянием и свойствами.
