Конспект лекций по дисциплине Лучевые и плазменные методы формирования наноструктур интегральной электроники

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Московский государственный институт электронной техники (технический университет), 2011, 84 с.
Содержание:
Применение фотонных потоков излучения в технологии микро- и наноэлектроники
Рекристаллизация аморфных и поликристаллических кремниевых слоѐв лазерным излучением
Технологические процессы с использованием плазмы при изготовлении изделий микро- и наноэлектроники
Плазменные технологические процессы очистки и травления микро- и наноструктур
Взаимодействие электронов с твѐрдым телом
Тепловое воздействие электронов на твѐрдое тело
Ионно-лучевая обработка в технологии микро- и наноэлектроники
Ионное легирование полупроводников

Author(s): Светличный А.М., Наумченко А.С.

Language: Russian
Commentary: 1019430
Tags: Специальные дисциплины;Наноматериалы и нанотехнологии;Технологии получения наноматериалов и наноструктур