Учеб. пособие - Рязан. гос. радиотехн. акад. Рязань, 2003. 48 с. ISBN 5-7722-0237-5.
Приведены основные сведения о двух методах исследования материалов: атомной эмиссионной спектроскопии и эллипсометрии. Даны физическая суть методов, методические основы, описание аппаратуры, ее аналитические возможности, технические характеристики и области применения.
Предназначено для студентов дневного и вечернего отделений направлений 654100 «Электроника и микроэлектроника» и 071400 «Физическая электроника».
Ил.
14. Библиогр.: 13 назв.
Печатается по решению редакционно-издательского совета Рязанской государственной радиотехнической академии.
Рецензент: кафедра электронной техники и технологии Рязанской государственной радиотехнической академии (зав. кафедрой, д-р техн. наук, профессор В.А. Коротченко).
