Патрушева Т. Н. Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники: учеб. пособие для магистров и аспирантов вузов по курсу "Современные технологии микро- и наноэлектроники"

Патрушева Т. Н. СЕНСОРИКА. СОВРЕМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ......Page 1
ПРЕДИСЛОВИЕ......Page 4
1. ВИДЫ СЕНСОРОВ......Page 6
1.1. Химические сенсоры......Page 7
1.2. Физические сенсоры......Page 11
1.3. Газоанализаторы......Page 15
2. ХИМИЧЕСКИЕ ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ......Page 20
2.1. Металлооксидные сенсоры......Page 23
2.2. Химические сенсоры на основе оксида олова......Page 27
2.3. Химические сенсоры на основе оксида титана......Page 52
2.4. Химические сенсоры на основе оксида индия......Page 53
3. ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ......Page 55
3.1. Электрохимические сенсоры на основе ZrO2......Page 64
3.2. Новые электродные материалы электрохимических сенсоров......Page 66
3.3. Электрохимические сенсоры на полевых транзисторах......Page 68
4. ХАРАКТЕРИСТИКИ ГАЗОВОГО СЕНСОРА......Page 71
4.1. Температурная зависимость электропроводности газового сенсора......Page 72
4.2. Микроструктура сенсорных пленок......Page 79
4.3. Чувствительность и быстродействие газового сенсора......Page 83
4.4. Экспериментальная установка для исследования быстродействия и газочувствительности оксидных сенсоров......Page 89
4.5. Селективность сенсоров......Page 94
5. МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ДАТЧИКИ......Page 98
5.1. Активные и пассивные датчики......Page 106
5.2. Полупроводниковые твердотельные датчики......Page 115
5.3. Мультиcенсорные системы......Page 119
6. МИКРОКОНСТРУИРОВАНИЕ ДАТЧИКОВ......Page 134
6.1. Классификация структур сенсоров......Page 138
6.2. Соединение микроконструкции с корпусом......Page 140
6.3. Метод микроконструирования......Page 146
6.4. Особенности проектирования микроэлектронных датчиков для биомедицинских применений......Page 147
7. МАГНИТОМЕТРИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ......Page 151
7.1. Магнитооптический датчик утечек метана......Page 152
7.2. Феррозонды......Page 157
7.3. Магнитные датчики для измерения толщины и расхода......Page 160
7.4. Композиционные магнитоэлектрические датчики магнитного поля......Page 161
8. ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ......Page 169
8.1. Химические сенсоры на поверхностных акустических волнах......Page 174
8.2. Многофункциональные микроэлектронные преобразователи на ПАВ......Page 178
8.3. Акустооптический сенсор для систем типа «электронный нос»......Page 182
8.5. Ультразвуковые сенсоры......Page 185
9. ОПТИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ......Page 188
9.1. Интегрально-оптический датчик для контроля опасных газообразных веществ......Page 191
9.2. Мониторинг охраняемых периметров и угловых перемещений......Page 198
9.3. Сенсоры температуры......Page 201
9.4. ВОДТ-датчик температуры......Page 203
10. СОВРЕМЕНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ СОЗДАНИЯ СЕНСОРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ......Page 206
10.1. Нанотехнология в сенсорике......Page 207
10.2. Экстракционно-пиролитический метод получения сенсорных материалов......Page 210
10.3. Газочувствительные свойства наночастиц палладия......Page 217
11. НАНОРАЗМЕРНЫЕ СЕНСОРЫ НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА ОЛОВА......Page 220
11.1. Нанопроволоки металлооксидов как сенсоры газов......Page 221
11.2. Новое изготовление SnO2 нанопроволочного газового датчика с высокой чувствительностью......Page 225
11.3. Сенсор на основе опаловых матриц......Page 230
11.4. Формирование однокристальных мультисенсорных микросистем на основе газочувствительной пленки SnO2......Page 237
11.5. Однокристальные мультисенсорные системы на основе оксидных нановолокон......Page 240
11.6. «Электронный язык» и «электронный нос»......Page 245
ЗАКЛЮЧЕНИЕ......Page 249
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК......Page 251
КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ......Page 258
ОГЛАВЛЕНИЕ......Page 259