Зондовые методы создания структур наноэлектроники

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Учебное пособие по дисциплине «Зондовые методы создания структур наноэлектроники». — М.: МИЭТ, 2011. — 164 с. — ISBN 978-5-7256-0650-8
Представлены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов.
Разработано для основной образовательной программы подготовки бакалавров по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», соответствующей тематическому направлению деятельности ННС «Наноэлектроника».
Для студентов технических университетов, проходящих подготовку по специальности 073800 «Наноматериалы», 658300 «Нанотехнология» и 202000 «Нанотехнология в электронике», изучающих курс «Зондовые методы создания структур наноэлектроники» на уровне бакалавров.
Содержание
Введение
Литература
Зондовая микроскопия и ее возможные применения
Сканирующие зондовые микроскопы
Зондовая микроскопия углеродных нанотрубок
Атомная структура поверхности углеродных нанотрубок
Исследование углеродных нанотрубок: размеры, формы, тонкая структура
Перспективы зондовой нанотехнологии
Литература
Теоретическое и экспериментальное исследование процессов формирования наноразмерных структур с помощью проводящего зонда
Физические эффекты в зондовой нанотехнологии
Контактное формирование нанорельефа поверхности подложек
Бесконтактное формирование нанорельефа поверхности подложек
Локальная «глубинная» модификация поверхности полупроводниковых подложек
Локальная электродинамическая модификация поверхности подложек
Межэлектродный массоперенос с нанометровым разрешением
Модификация свойств среды в зазоре между проводящим зондом и подложкой
Электрохимический массоперенос
Массоперенос с помощью газовой среды
Локальное анодное окисление
Литература
Зондовые нанотехнологии создания элементной базы наноэлектроники
Зондовое формирование полимерных микропроводников
Методы формирования металлических квазиодномерных микропроводников на подложках
Создание элементов металлической наноэлектроники
Нанотранзисторы и инверторы на основе углеродных нанотрубок
Метод приготовления проводников на основе пучка углеродных нанотрубок
Зондовые методы модификации углеродных нанотрубок на подложках
Исследование характеристик макетов нанотранзистора и инверторов на основе углеродных нанотрубок
Углеродная наноэлектроника
Локальное анодное окисление пиролитического графита
Литература
Заключение

Author(s): Неволин В.К.

Language: Russian
Commentary: 1474666
Tags: Специальные дисциплины;Наноматериалы и нанотехнологии;Технологии получения наноматериалов и наноструктур