Рассматриваются основные перспективные материалы и технологии полупроводниковой микро- и наноэлектроники, включающие разработку элементной базы для субмикронных и глубокосубмикронных СБИС на кремнии, на широкозонных полупроводниках и гетероструктурах.
Предназначено в качестве учебного пособия для студентов, обучающихся по специальности «Электроника и автоматика физических установок» по направлению подготовки «Ядерные физика и технологии», программа «Электроника физических установок».
