Учебное пособие. — СПб.: Университет ИТМО, 2016. — 129 с.Изложены основы теории вакуума, расчета, конструирования и эксплуатации вакуумных систем. Приводятся основные современные средства откачки, измерения вакуума и обнаружения негерметичности вакуумных систем.
Предназначено для бакалавров направлений 16.03.03 Холодильная, криогенная техника и системы жизнеобеспечения, 14.03.01 Ядерная энергетика и теплофизика очной и заочной форм обучения.Содержание.
Введение.
Вакуум. Некоторые положения молекулярно-кинетической теории газов.
Уравнение состояния идеального газа.
Средняя арифметическая скорость молекул.
Частота соударений молекул газа с поверхностью.
Средняя длина свободного пробега молекул.
Коэффициенты переноса в газах.
Число Кнудсена.
Элементы расчета вакуумной системы, работающей в стационарном режиме.
Основное уравнение вакуумной техники.
Проводимость элементов вакуумных систем.
Проводимость отверстия при вязкостном режиме течения газа.
Проводимость отверстия при молекулярном режиме течения газа.
Идеальный вакуумный насос.
Проводимость трубопровода при вязкостном режиме течения газа.
Проводимость трубопровода при молекулярном режиме течения газа.
Условие равновесия в неизотермических объектах.
Измерение вакуума.
Вакуумметры.
Жидкостные вакуумметры.
Компрессионный вакуумметр.
Деформационные вакуумметры.
Тепловые вакуумметры.
Ионизационные вакуумметры.
Специфика измерения вакуума в криогенных объектах.
Масс-спектрометры.
Классификация масс-спектрометров.
Статический масс-спектрометр.
Времяпролетный масс-спектрометр.
Вакуумные насосы.
Механические вакуумные насосы.
Ротационные вакуумные насосы.
с масляным уплотнением.
Жидкостно-кольцевые вакуумные насосы.
Двухроторные вакуумные насосы.
Вихревые вакуумные насосы.
Мембранные вакуумные насосы.
Турбомолекулярные вакуумные насосы.
Струйные вакуумные насосы.
Водоструйные вакуумные насосы.
Газоструйные вакуумные насосы.
Пароструйные вакуумные насосы.
Криогенные струйные насосы.
Сорбционные вакуумные насосы.
Испарительные геттерные вакуумные насосы.
Магниторазрядные вакуумные насосы.
Криоадсорбционные вакуумные насосы.
Криоконденсационные вакуумные насосы.
Конструкционные материалы вакуумных систем.
Элементы вакуумных систем некоторые принципы расчета вакуумных систем.
Испытание вакуумных систем на герметичность.
Список литературы.
