product iamge

Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Download
Search on Amazon

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Рассмотрены основные составляющие фотолитографического ме┐тода: светочувствительные материалы, собственно технология фото┐литографии, применяемое современное оборудование.Книга рассчитана на широкий круг читателей. Технологи, знако┐мые с фотолитографией, найдут в ней практические указания и новые сведения. Инженеров, работающих в других областях, могут заинте┐ресовать современные возможности и перспективы развития фотолито┐графии.

Author(s): Пресс Ф.П.
Year: 1978

Language: Russian
Commentary: +OCR
Pages: 50