Процесс конденсации паров испаряемого материала на поверхности детали и последующее структурообразование формирующегося слоя происходят в условиях постоянного внедрения молекул газа, имеющихся в объеме камеры. Влияние подобных примесей на свойства слоев несомненно, хотя и неоднозначно, как неоднозначен и механизм появления во время процесса испарения такого активного восстановителя, как Н2, имеющего в отличие от СО2 стационарное значение давления.
ОМП, 1986, №9, с.25-30
