Лекции:
Введение. Основные понятия и термины.
Параметры и характеристики микросистем.
Чувствительные элементы для микросистем.
Сенсорные компоненты МСТ.
Пьезоэлектрические датчики.
Сенсорные компоненты МСТ.
Сенсорные компоненты МСТ.
Сенсорные компоненты МСТ.
Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи.
Интегральные микрозеркала.
Интегральные микродвигатели.
Катушки индуктивности в микросистемах.
Катушки индуктивности в микросистемах.
Катушки индуктивности в микросистемах.
Катушки индуктивности в микросистемах.Лабораторные занятия
Изучение технологических норм изготовления компонентов микросистемной техники.
Проектирование двухэлектродного электростатического актюатора.
Проектирование гребенчатого электростатического актюатора.Также есть оригинальные интерпретации принципы работы камертонного микромеханического гироскопа, двухосного камертонного микромеханического гироскопа, карданнового микромеханического гироскопа и микронасосов. (Для просмотра нужен flash player)
