Процессы микро- и нанотехнологии. Рабочая программа дисциплины

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Настоящая рабочая программа устанавливает минимальные требования к знаниям и умениям студента и определяет содержание и виды учебных занятий и отчетности. Предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, и студентов специальности 200100 - Микроэлектроника и твердотельная электроника, участвующих в процессе изучения дисциплины. Целью дисциплины является научить студентов способам нанесения, удаления и модифицирования вещества на микро- и наноуровне, используемых при создании компонентов твердотельной электроники и интегральных микросхем

Author(s): Аверин И.А.
Publisher: ПГУ
Year: 2002

Language: Russian
Pages: 8
City: Пенза