Учеб. пособие. СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2005, 113стр.Пособие соответствует государственому образовательному стандарту по дисциплине Физико-химические основы технологии полупроводников для студентов, обучающихся по программе бакалавров по направлению 550100 - Техническая физикаРассмотрены основные физико-химические инструменты полупроводниковой технологии – пучковые потоки, низкотемпературная плазма, газофазная эпитаксии. Изучение этих разделов является особенно полезным на начальных этапах участия студентов в реальных условиях научных исследований, как экспериментальных (технологических и материаловедческих),
так и теоретических.
Предназначено для студентов, обучающихся по специальностям 553101 Прикладная физика твердого тела, 553102 Физика и техника полупроводников, студентам старших курсов и аспирантам, специализирующихся в области технологии и исследования твердого тела.
Предназначено для студентов физико-технического факультета.
