Волков А. Н., Дьяченко В. А., Клюкин В. Ю. Вакуумная техника. Методы, технологические процессы и оборудование для нанесения покрытий: Учебное пособие.
СПб.: Изд-во СПбГТУ, 1996. – 44 с.Для студентов конструкторских специальностей 5-го курса механико-машиностроительного факультета, изучающих курсы "Вакуумная техника", "Оборудование для производства электровакуумных приборов", "Оборудование для производства полупроводниковых приборов". Пособие может быть использовано для выполнения лабораторных работ и курсового проектирования.Содержание.
Методы и технология нанесения покрытий, их назначение. Принципы работы оборудования для нанесения покрытий.
Технологические основы ультразвуковой очистки.
Технологические установки для ультразвуковой очистки.
Подготовка поверхности деталей под напыление.
Вакуумная установка ВУ-1Б.
Вакуумная система установки для нанесения покрытий ВУ-1Б.
