Автоматизированное нанесение тонкоплёночных интерференционных покрытий в вакууме

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

В брошюре рассматривается состояние работ в области автоматизированного нанесения тонкослойных интерференционных покрытий в вакууме на установке с управлением от микрокомпьютера. Приводится алгоритм работы установки и примеры реализации некоторых конструкций покрытий. Даётся математическая модель процесса нанесения слоя оксида титана, полученная на установке BAK-760 (фирма "Balzers") методом планирования эксперимента.
Л.: ЛДНТП, 1983, 28 с.

Author(s): Введенский В.Д., Фурман Ш.А.

Language: Russian
Commentary: 49622
Tags: Приборостроение;Вакуумная техника