Ионно-лучевые методы получения тонких пленок

This document was uploaded by one of our users. The uploader already confirmed that they had the permission to publish it. If you are author/publisher or own the copyright of this documents, please report to us by using this DMCA report form.

Simply click on the Download Book button.

Yes, Book downloads on Ebookily are 100% Free.

Sometimes the book is free on Amazon As well, so go ahead and hit "Search on Amazon"

Учебно-методическое пособие для студентов физического факультета. Казань, 2010, 87с. Издание 2-е, исправленное и дополненное.
Методическое пособие предназначено для студентов четвертого курса, приступивших к изучению спецкурса Физика поверхности и тонких пленок. Во введении содержатся краткие сведения о тонких пленках и рассмотрены основные процессы, происходящие при их формировании. Кратко рассмотрены также основные методы их получения и приведены сравнительные характеристики этих методов. Подробно рассмотрены принципы действия и конструкции установок для магнетронного нанесения пленок, работающих на постоянном токе и с использованием ВЧ-распыления, и ионно-лучевому синтезу. Далее приведено описание лабораторных работ и порядок их выполнения.

Author(s): Петухов В.Ю., Гумаров Г.Г.

Language: Russian
Commentary: 1018290
Tags: Физика;Физика твердого тела;Физика поверхности и тонких пленок