Измерение электропроводности нанометровых металлических пленок в слоистых структурах по спектрам отражения электромагнитного излучения

Усанов Д.А., Скрипаль А.В., Абрамов А.В., Боголюбов А.С.Учебное пособие. – Саратов: СГУ, 2007. - 84 с. - Для студ. фак. Нано- и биомедицинских технологийИзложены результаты теоретического описания взаимодействия СВЧ-излучения с полупроводниками, металлодиэлектрическими и металлополупроводниковыми структурами, положенные в основу различных СВЧ-методов измерения параметров полупроводников, микро- и наноструктур. Рассмотрены особенности применения СВЧ-методов для многопараметровых измерений многослойных структур: определение диэлектрической проницаемости и электропроводности полупроводниковых пластин, толщины и электропроводности нанометрового металлического слоя, нанесённого на полупроводниковую подложку. В приложении приведено описание лабораторной работы по основам измерений электропроводности нанометровых металлических пленок в слоистых структурах по спектрам отражения электромагнитного излучения СВЧ-диапазона.Для студентов университета, обучающихся по специальностям «Нанотехнология в электронике», «Материаловедение и технология новых материалов», «Микроэлектроника и твердотельная электроника», «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы», «Медицинская физика», «Управление качеством» и по направлению подготовки бакалавр-магистр «Электроника и микроэлектроника», а также научных сотрудников, аспирантов и инженеров, занимающихся проведением научных исследований в родственных областях науки.