Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
Author(s): Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н.
Publisher: Техносфера
Year: 2007
Language: Russian
Commentary: 2007775 Отсканированные страницы
Pages: 356